Sau 5 năm từ Thái Lan trở về Việt Nam và tịnh dưỡng tại chùa Từ Hiếu (TP Huế), Thiền sư Thích Nhất Hạnh đã viên tịch lúc 0h ngày 22/1/2022 (ngày 20 tháng Chạp năm Tân Sửu), trụ thế 96 năm.

Thiền sư Thích Nhất Hạnh mong muốn được an dưỡng tại tổ đình Từ Hiếu, nơi ngài xuất gia năm 16 tuổi.